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億力鑫系統科技 Manual Spin Coater 其他詳細資料 Details... Semi – Auto Spin Developer 其他詳細資料 Details... Mask Cleaner Mask ...
旋轉塗佈的原理和用途 - Yahoo!奇摩知識+ 旋轉塗佈的 原理 和用途 發問者: ~ㄚ宇~ ( 初學者 5 級) 發問時間: 2007-04-08 14:24:47 解決時間 ... 旋轉塗佈( ...
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旋轉塗佈手指狀不穩定之控制 1. 旋轉塗佈手指狀不穩定之控制. 主持人:周復初博士. 計畫編號:NSC 94-2212-E-008 -019. 一、前言. 旋轉塗佈之原理是利用馬達. 帶動一轉盤,吸附著晶圓進行旋.
國立中山大學電機工程學系碩士論文 - eThesys 中山博碩士論文 將採用旋轉塗佈法(Spin coating)來製備感測薄膜於EIS 結構上。旋轉塗佈法. 的原理(參見圖2.1) [22],首先是將基板置於旋轉檯中央,再滴上定量的溶. 液於基板上( ...
TEL MK-8自動化阻劑旋轉塗佈及顯影系統介紹 單元的製程原理及硬體,希望透過本文能使. 讀者對Tra ck System與微影製程的相關性有一. 基本的認識與了解。 二、TEL Tra ck System MK-8機. 型硬體簡介. 圖二A及 ...